-
1 sputter etching
Англо-русский словарь промышленной и научной лексики > sputter etching
См. также в других словарях:
ИОННО-ЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ — испускание эл нов поверхностью тв. тела в вакуум при бомбардировке поверхности ионами. Коэфф. И. э … Физическая энциклопедия